芯片划切硬的粘结材料可以更好地“固定”金刚石颗粒,因而可以提高划片刀的寿命,而软的粘结材料能够加速金刚石颗粒的“自我锋利“效应,令金刚石颗粒保持尖锐的棱角形状,因而可以减小晶圆的正面崩角或分层,但代价是划片刀寿命的缩短。
划片机刀片切割:刀片在设备主轴高速运转带动下,刀片上的金刚石颗粒将工作盘上的晶圆从切割街区进行击穿,并在刀片”碎屑口袋”与切割冲洗水的作用下,将产品碎屑及时移除,避免造成背面硅粉渗透及附着表面造成的品质异常。
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现在新势汇博科技以半导体材料精密划切工艺和划片装备作为公司核心工艺、产品方向,研发生产激光划片机和砂轮划片机两大类精密划切装备及相关技术工艺,主要应用于集成电路后道封测制程,以大规模集成电路(IC)芯片半导体硅材料基片为主要加工对象,在太阳能电池、LED、陶瓷、玻璃、石英、氧化铝、光学材料、闪烁晶体等材料划切领域应用广泛。
新势汇博科技以“聚焦客户需求,提供有竞争力的智能装备,持续为客户创造价值”为公司使命,持续提升产品性能指标,强化产品质量管控,为客户提供高品质的产品和优质服务,快速响应市场需求,全力开拓目标市场,创新研发、市场、生产体系及管理模式,助推公司快速发展和成长,以期成长为国内主流半导体工艺装备服务商。
芯片划切日常生产中通常采用两个上料盒轮换上料,这需要保证电池片在两个料盒中的相对位置尽量保持一致,半导体晶圆划片机是将含有很多芯片的wafer晶圆分割成晶片颗粒,为下道粘片工序做好准备,其切割的质量与效率直接影响到芯片的质量和生产成本。