激光划片机采用细磨粒的刀片进行切割产生的芯片边缘崩裂要显著低于普通磨粒切割的效果,如下所示,激光划片机是利用高能激光束照射工件表面,使被照射区域局部熔化、气化,从而达到划片目的,其特点为切割精度高、切割速度快,适用于较薄晶圆的切割。
划片机生产厂家电话服务至上
新势汇博科技以“聚焦客户需求,提供有竞争力的智能装备,持续为客户创造价值”为公司使命,持续提升产品性能指标,强化产品质量管控,为客户提供高品质的产品和优质服务,快速响应市场需求,全力开拓目标市场,创新研发、市场、生产体系及管理模式,助推公司快速发展和成长,以期成长为国内主流半导体工艺装备服务商。
划片机适用于zui大达8英寸,厚度0,要使划片机机械刀片在承受很大压力,以及在切削过程经常出现的冲击和振动条件下工作,而不产生崩刃和折断,机械刀片材料就必须具有足够的强度和韧性,耐热性是衡量机械刀片材料切削性能的主要标志。
沈阳新势汇博科技有限公司(简称“新势汇博科技”)是由沈阳仪表科学研究院有限公司与沈阳高新发展投资控股集团有限公司共同出资组建,注册资本2000万元人民币,其中: 沈阳高发投占比51%,沈阳仪表院占比49%。主要产品是6-12寸砂轮划片机,红外、紫外激光划片机及晶圆清洗机、贴膜机等辅助设备的整机装备设计、制造、销售和服务,提供整机装备和相关工艺技术。
划片机切割门自动互锁机制,预防因操作疏失造成人员伤害,实时性断刀检测,避免刀具在损伤的状态下继续切削,以确保良好的切割质量,掌握设备水气供应与消耗状态,异常发生时及时处置,人员、划片机设备及工作物皆能妥善防护。
激光划片机就目前来看总共是划分为激光划片和超薄金刚石划片两种,刀锋的长度应根据晶圆的厚度,承载薄膜的厚度,最大允许的崩角的尺寸来进行定义,刀锋不能选得过长,因为长的刀锋会在切割时引起刀片的摆动,会导致较大的崩角。